愛德華（Edwards）真空泵EPX系列手冊的使用指南
引言
愛德華（Edwards）是真空技術領域的全球領先品牌，其EPX系列真空泵以獨特的設計和卓越性能在眾多行業中廣受認可。EPX系列是一種高真空初級泵，結合了再生泵和Holweck泵的優點，能夠從大氣壓泵至極限真空（低至1 x 10^-4 mbar或1 x 10^-5 mbar，具體取決于型號）。這一創新設計使其在需要高真空度的應用中表現出色，同時減少了對額外高真空泵（如渦輪分子泵）的需求。
在現代工業中，真空泵廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析儀器、制藥和光電子等領域。EPX系列以其高效、清潔和可靠的性能，成為許多行業的首選設備。本文將詳細介紹EPX系列真空泵的性能特點、使用場合、操作流程、使用細節以及故障排除方法，為用戶提供一份全面而實用的使用指南。
1. 性能特點
EPX系列真空泵的性能特點使其在高真空應用中表現卓越，以下是其主要技術規格：
| 參數 | EPX180LE | EPX180NE | EPX500LE | EPX500NE |
|---|
| 峰值泵速 (m3/h) | 175 | 175 | 500 | 500 |
| 極限真空 (mbar) | <1 x 10^-4 | <1 x 10^-4 | <1 x 10^-5 | <1 x 10^-5 |
| 最大排氣壓力 (bar) | 0.2 | 0.2 | 0 | 0 |
| 氮氣消耗 (slm) | 0 | 25 | 0 | 25 |
| 冷卻水消耗 (l/h) | 120 | 120 | 120 | 120 |
| 電源電壓 (V) | 200/208/400 | 200/208/400 | 200/208/400 | 200/208/400 |
| 極限真空功率 (kW) | 1.4 | 1.6 | 1.4 | 1.6 |
| 最大功率 (kW) | 3.0 | 3.0 | 3.0 | 3.0 |
| 重量 (kg) | 45 | 47 | 46 | 48 |
| 進/出口連接 | ISO63/NW25 | ISO63/NW25 | ISO160/NW25 | ISO160/NW25 |
| 噪音 (dB(A)) | <56 | <56 | <56 | <56 |
| 振動 (mm/s, rms) | <1.3 | <1.3 | <1.3 | <1.3 |
泵速與真空度：EPX180型號泵速為175 m3/h，EPX500型號為500 m3/h。所有型號均能達到<1 x 10^-4 mbar，EPX500通過額外的螺旋轉子階段可達1 x 10^-5 mbar。
冷卻方式：采用水冷卻系統，確保低環境熱負載，適合潔凈室環境。
清潔度：泵腔內無油無脂，杜絕油回遷，適合高清潔度要求的工藝。
氮氣清洗：N型號（EPX180NE和EPX500NE）配備氮氣清洗功能，可處理蒸氣和低濃度腐蝕性氣體及顆粒。
緊湊設計：重量約45-48 kg，尺寸小巧，優于傳統渦輪分子泵與初級泵組合。
低噪音與振動：噪音水平<56 dB(A)，進氣法蘭振動<1.3 mm/s，適合安靜環境。
電源效率：支持200/208/400V三相電源，極限真空功率1.4-1.6 kW，最大功率3.0 kW。
這些特點使EPX系列泵在需要高真空、低污染和高可靠性的應用中表現優異。
2. 使用場合
EPX系列真空泵適用于多種高要求場景，包括但不限于：
高真空應用：在需要比傳統初級泵更高真空度的工藝中，EPX泵可單獨使用，替代渦輪分子泵與初級泵組合，降低系統復雜性和成本。
頻繁壓力循環：適合需要從大氣壓快速泵至低壓的工藝，如半導體制造中的負載鎖定、真空涂層或分析儀器。
高清潔度要求：無油設計使其成為制藥、電子和光電子行業的理想選擇，確保系統無污染。
腐蝕性氣體處理：N型號的氮氣清洗功能使其能處理蒸氣和低濃度腐蝕性氣體，適用于輕度腐蝕性工藝。
EPX系列泵的靈活性和高效性使其在半導體、科研和工業生產中具有廣泛應用前景。
3. 操作流程
正確操作EPX系列真空泵是確保其性能和安全的關鍵。以下是詳細的操作步驟：
3.1 準備與安裝
安裝位置：在連接電源前，確保泵已正確安裝在真空系統中，以避免意外啟動導致傷害或設備損壞。
進氣保護：切勿移除進氣網罩或在進氣口暴露時運行泵。若涉及危險物質，泵必須與大氣和工藝系統隔離。
管道連接：使用柔性連接將泵進氣口與工藝系統連接，減少振動和應力。管道應盡量短，內徑不小于泵進氣口。安裝前移除進氣法蘭保護蓋，使用Edwards centering O-ring和爪形夾具密封。
3.2 連接
冷卻水：通過客戶指定水連接器（參考手冊圖2，項目4和9）連接冷卻水供應和回路管道。確保冷卻水符合環境條件（濕度和溫度，參考手冊表5）。
電源：通過合適的保險/隔離器連接電源，使用保護地線螺栓（圖2，項目3）接地，符合當地電氣規范。
控制接口：通過Tool Interface Module (TIM)或End User Controller (EUC)連接外部控制設備。EPX L、N和NE系列使用EUC進行本地和網絡控制；EPX E系列可通過EUC或Pump Display Terminal (PDT)手動操作。
3.3 啟動泵
3.4 監控與控制
3.5 停止泵
注意事項
4. 使用細節
EPX系列真空泵的使用細節涵蓋其操作范圍、變體功能和保護機制：
操作范圍：泵可在從大氣壓到極限真空的范圍內運行，泵腔內無潤滑或密封流體，確保系統清潔，無油回遷風險。
變體與應用：
EPX L：用于清潔任務（如負載鎖定），通過EUC支持本地和網絡控制。
EPX N：配備氣體模塊，支持氮氣清洗，適用于稀釋工藝氣體的輕任務應用。
EPX NE：輕工應用泵，支持網絡和本地控制。
EPX E：可通過EUC或PDT手動操作，適合網絡控制。
容量與配置：提供180 m3/h（EPX180LE/NE）和500 m3/h（EPX500LE/NE），電壓選項為200/208 V或400 V，水接頭選項為1/4、3/8、9/16英寸BSP或無快速連接。
冷卻系統：集成水冷卻電路，適合潔凈室環境，避免風扇冷卻的不便。
性能優化：EPX Twin在1 bar至0.2 mbar間性能更佳，適合負載鎖定和快速循環應用。
保護機制：配備熱斷開開關等傳感器，檢測過熱等故障時自動停機；EPX N型號的氮氣清洗流量開關（設定為12 slm）監控流量。
5. 故障排除
以下是EPX系列真空泵的常見故障及解決方法：
| 故障 | 可能原因 | 解決方法 |
|---|
| 泵關閉（報警LED亮） | 過熱、驅動器故障 | 冷卻泵至少20分鐘，檢查冷卻水供應（參考手冊第2.4節），重新啟動。 |
| 低氮氣流量（警告LED亮） | 氮氣供應不足 | 驗證氮氣流入氣體模塊，若問題持續，聯系Edwards服務中心。 |
| 重新啟動時噪音 | 運行信號移除后快速重新應用 | 等待泵完全停止后再重新應用運行信號，噪音無害。 |
| 連接問題 | 控制設備與接口連接錯誤 | 檢查接口連接（參考手冊第3.11節），若問題持續，聯系Edwards服務中心。 |
安全與維護
電氣安全：未接地或電氣連接錯誤時禁止操作。泵內無用戶可維修部件，維修需由Edwards專業人員進行，斷電后等待4分鐘再拆除蓋子。
泵卡住：若泵卡住，使用手套、眼鏡和面罩，注意可能出現的硫酸鋁粉塵和硫黃味。
服務支持：聯系Edwards服務中心獲取維修、備件或配件，訂購時提供型號、序列號和部件信息。退貨需附帶完成的HS2污染表格。
6. 結論
愛德華EPX系列真空泵以其卓越的性能、靈活的應用和可靠的操作，成為高真空應用的理想選擇。其無油設計、高效泵速和氮氣清洗功能使其在半導體、制藥和科研領域表現出色。通過遵循正確的操作流程、定期監控和及時維護，用戶可確保泵的高效運行。
