Celerity VDM100 與 VDMW300022V1L 蒸汽輸送模塊（Vapor Delivery Module），用于半導(dǎo)體及薄膜設(shè)備中的液體前驅(qū)體氣化與穩(wěn)定輸送。設(shè)備支持 Ethernet 與 I/O 通訊，內(nèi)置 250V/3A 快熔保險接口，氣化流量范圍約 3 SLPM H?O，接口完整，外觀良好。
Celerity VDM 系列是高精度蒸汽發(fā)生與輸送模塊，主要用于將液體化學(xué)前驅(qū)體（如 TEOS、TDMAT、DEZ 等）均勻汽化后輸送至 CVD、ALD、PECVD 等反應(yīng)腔。
其模塊化設(shè)計可實現(xiàn)快速加熱、穩(wěn)定流量控制、實時診斷接口，并可通過 Ethernet 或 I/O 接口進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控。
| 參數(shù)項目 | 說明 |
|---|
| 型號 | VDM100 / VDMW300022V1L |
| 品牌 | Celerity |
| 主要功能 | 液體前驅(qū)體汽化與穩(wěn)定氣體輸送 |
| 電源輸入 | 250 VAC，3A 快熔保險 |
| 通訊接口 | Ethernet、I/O、DIAG 接口 |
| 流量范圍 | 約 3 SLPM H?O |
| 安裝方向 | 豎直安裝（進(jìn)口向下） |
| 制造年份 | 2012（VDMW300022V1L） |
| 外殼材質(zhì) | 鋁合金外殼，CE 認(rèn)證 |
| 狀態(tài) | 接口完整，標(biāo)簽清晰，表面輕微使用痕跡 |
| 產(chǎn)地 | 美國（Made in USA） |
應(yīng)用領(lǐng)域 / Applications
背面接口說明 / Rear Panel Connections
INPUT/OUTPUT： 模擬與數(shù)字控制接口（用于系統(tǒng)控制信號）
DIAG： 診斷端口，用于狀態(tài)檢測與維護(hù)
ETHERNET： 網(wǎng)絡(luò)通信接口，可遠(yuǎn)程控制
TANK DRAIN： 蒸汽腔排液口，帶快插接頭
FUSE： 250V AC / 3A 快熔保險保護(hù)
包裝與配置 / Included Items
成色與狀態(tài) / Condition
外觀整潔，模塊未拆修
接口齊全，標(biāo)簽完整清晰
已通過基本電源與接口檢查
適合用于設(shè)備替換、維修或二次集成
